愛(ài)德華干泵維修適用于鋰離子電池制造設備的真空泵制造商鋰離子電池正在推動(dòng)*的環(huán)保議程，可靠的高質(zhì)量真空是其制造過(guò)程中的關(guān)鍵因素。我們有一系列適合所有電池制造需求的泵，這些泵由服務(wù)和支持網(wǎng)絡(luò )提供支持。 

愛(ài)德華干泵維修特點(diǎn)： 
低成本；
可減少維護成本并降低環(huán)境影響；
智能泵；
高級控制功能；

我們繼續革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì )提升制程正常運轉時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認證水平，同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放、延長(cháng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續服務(wù)成本，努力協(xié)調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及每一家主要半導體工廠(chǎng)都采用了我們的系統，因為它們能夠滿(mǎn)足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統等各種系統，用來(lái)優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。


平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。雖然傳統甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edwards 可以讓您有效應對這兩種應用。

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