凍干機EH2600愛(ài)德華真空羅茨泵維修

半導體加工
我們繼續革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì )提升制程正常運轉時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認證水平，同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放、延長(cháng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續服務(wù)成本，努力協(xié)調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及世界每一家主要半導體工廠(chǎng)都采用了我們的系統，因為它們能夠滿(mǎn)足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統等各種系統，用來(lái)優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。

應用

●真空冶金加工
●薄膜覆層技術(shù)
●制藥冷凍干燥
●冷凍和空調系統抽空、干燥和回填
●變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理工廠(chǎng)
●燈具制造
●低溫容器抽空
●化工行業(yè)中的真空干燥和蒸餾
●半導體設備制造
●用于高真空應用的前級泵

潔凈的真空
腔體內沒(méi)有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運作
選用比標準電機容量大一級的電機，即可實(shí)現在高吸入壓強下的運作。

用途
•  照明、電子、光學(xué)、半導體。
•  鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入。
•  真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣。
•  真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐。
•  分析儀器、檢漏設備、CO2激光設備。

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