功能和優(yōu)勢
優(yōu)化了設施消耗。
無(wú)需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時(shí)大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無(wú)需使用電機聯(lián)結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積

概述
Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過(guò)現場(chǎng)應用證明，可以按照高工作標準運行。通過(guò)延長(cháng)使用壽命、提高運行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)大程度地減小占地面積、降低運行成本，實(shí)現了高的可靠性和性能。
 
iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD