深圳XDS46i愛(ài)德華渦旋泵

Edwards XDS 和 nXDS 系列干式渦旋泵

Edwards 干式渦旋泵為各種應用提供成熟的干式清潔真空解決方案。

當需要無(wú)油抽空時(shí)，渦旋泵是旋片泵的替代品。

Edwards XDS35i 干式渦旋泵

Edwards XDS35i 干式渦旋泵

軸承護罩

確保制程氣體和軸承潤滑分離，以保證清潔真空并使潤滑不被制程氣體污染，從而延長(cháng)軸承使用壽命。

智能電機驅動(dòng)

意味著(zhù)全程穩定的性能、泵過(guò)載保護和遠程啟動(dòng)/停止功能。

高流速氣囊功能

允許泵送蒸汽，包括高達 240 gh-1 的水蒸汽

簡(jiǎn)便的單側渦旋設計

可在數分鐘內完成維護，以降低擁有成本并大程度延長(cháng)正常運行時(shí)間。

更進(jìn)一步

增強型在初始抽空期間可減少多達 20％ 的峰值電力需求，這意味著(zhù)它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室，且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達 25％，這也有助于提高應用循環(huán)頻率。

XDS 干式渦旋泵

在干泵真空領(lǐng)域，XDS 干式渦旋泵已成為行業(yè)標準，在廣泛的應用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真空泵解決方案。

現在，結合的雙啟動(dòng)渦旋形式技術(shù)和旁通閥，Edwards 得以提供 XDS35i 增強型系列泵，以補充我們原有的產(chǎn)品線(xiàn)。

nXDS 干式渦旋泵

nXDS是我們新一代的渦旋泵，與其他泵相比，具有更高的抽取速度、更低的極限壓力、更低的功耗和更低的噪聲級。

nXDS 泵的設計力求實(shí)現*現場(chǎng)維修。其智能控制功能和長(cháng)達五年的維修間隔可降低擁有成本，使其成為當今技術(shù)的小型干泵。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

溫控風(fēng)扇：可以在低負載條件下降低風(fēng)扇轉速，從而使噪聲降至僅 52 dB(A)。

軸承罩：可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制程氣體中的污染物進(jìn)入潤滑劑中，從而延長(cháng)軸承的使用壽命。

變頻器驅動(dòng)：范圍內泵性能*相同、易于控制、功耗降低和自動(dòng)電壓調整特性，從而有助于打造很好的用戶(hù)體驗。

渦旋盤(pán)經(jīng)優(yōu)化設計后：轉速提高，極限真空比一代提高一個(gè)數量級，低到極限壓力僅為7 x 10-3mbar。

經(jīng)優(yōu)化設計的端面密封技術(shù)：使得使用壽命發(fā)生顯著(zhù)變化，就大多數應用而言，典型的端面密封條使用壽命達到 2 年以上。

高流量氣鎮特性：可實(shí)現高到 220 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。

產(chǎn)品應用：

一般清潔泵送應用，電子掃描顯微鏡-SEM，射束線(xiàn)和高能物理，前級渦輪泵，超高速離心機，覆層，低溫學(xué)，脫氣/硫化-油，環(huán)氧樹(shù)脂，蒸餾/萃取/過(guò)濾，冷凍干燥，熔爐，凝膠體干燥，實(shí)驗室工作臺上真空，激光、氣體回收和再循環(huán)，氦檢漏儀，負載鎖和傳輸腔，稀有氣體再循環(huán)，稀有氣體回收，冷凍制造，研發(fā)，旋轉離心蒸發(fā)器，SEM/FIB（離子束維修），溶劑回收，表面科學(xué)儀器。

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