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半導體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養

更新時(shí)間:2024-07-04

簡(jiǎn)要描述:

半導體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養PS系列螺桿真空泵
定螺距螺桿轉子特點(diǎn):
1、結構簡(jiǎn)單,故障率低,成本較低,易維修
2、高壓段功耗相對低,適用于高負載應用場(chǎng)合
3、排氣路徑短,減少反應物沉積

適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)、半導體面板業(yè)制程
PS系列螺桿真空泵型號:PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD系列螺桿真

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)地:東莞市
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數:1234
品牌其他品牌輸送介質(zhì)其他
泵軸位置臥式葉輪數目其他
應用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,航天,電氣

半導體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養

PS系列螺桿真空泵

定螺距螺桿轉子特點(diǎn):

1、結構簡(jiǎn)單,故障率低,成本較低,易維修

2、高壓段功耗相對低,適用于高負載應用場(chǎng)合

3、排氣路徑短,減少反應物沉積


適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)、半導體面板業(yè)制程

PS系列螺桿真空泵型號:PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802


PD系列螺桿真空泵型號:PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高壓段抽速快

能耗可降低30%以上

氣冷馬達機型可搭配自循環(huán)冷卻系統,能使用在無(wú)冷卻水的系統環(huán)境

可提供符合ATEX標準的產(chǎn)品

變螺距螺桿轉子特點(diǎn):

1,運行溫度低,適用于要求泵體表面及排氣溫度低的場(chǎng)合。                2,運轉功耗低,適用于輕負載應用場(chǎng)合,更節能。                        3,運行噪音更低,適用于運行噪音低的場(chǎng)合,如:貼合機,無(wú)塵室。

4,相同長(cháng)度轉子,抽氣量更大。適用于大抽氣量的真空需求。


真空壓力:≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa


漢鐘PS系列、PD系列維修


維修步驟:

1、螺桿泵來(lái)料檢驗,真空度、運行時(shí)間、振動(dòng)值、驅動(dòng)器、電氣參數。

2、全部拆卸,油污清潔,打磨。

3 、按“螺桿泵維修處理通知單"更換所必需的零件,如:軸承、軸套、套筒、密封圈、齒輪,以確??煽康膬?yōu)質(zhì)服務(wù)和泵浦使用壽命。

4、泵的平衡,利用平衡和分析設備,調試佳的狀態(tài),以減少噪音、振動(dòng),延長(cháng)軸承壽命。

5、測試檢查,參照原廠(chǎng)參數檢測,結合客人實(shí)際要求與螺桿泵磨損

PMF半導體干凈系列

用途:Semi conductor,Load lock,TFT-LCD,Touch Panel,Solar,Coating,Plasma Process,Drying Process,Degassing

PMF系列型號有PMF100,PMF120,PMF612


半導體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養

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