XDS10/XDS5愛(ài)德華渦旋泵密封包詳細介紹
XDS10/XDS5是愛(ài)德華老款渦旋泵密封包有密封圈，O型圈，氣鎮閥包
Edwards XDS 和 nXDS 系列干式渦旋泵
Edwards 干式渦旋泵為各種應用提供成熟的干式清潔真空解決方案。
當需要無(wú)油抽空時(shí)，渦旋泵是旋片泵的替代品。
Edwards XDS35i 干式渦旋泵
Edwards XDS35i 干式渦旋泵
軸承護罩
確保制程氣體和軸承潤滑分離，以保證清潔真空并使潤滑不被制程氣體污染，從而延長(cháng)軸承使用壽命。
智能電機驅動(dòng)
意味著(zhù)全程穩定的性能、泵過(guò)載保護和遠程啟動(dòng)/停止功能。
高流速氣囊功能
允許泵送蒸汽，包括高達 240 gh-1 的水蒸汽
簡(jiǎn)便的單側渦旋設計
可在數分鐘內完成維護，以降低擁有成本并程度延長(cháng)正常運行時(shí)間。
更進(jìn)一步
增強型在初始抽空期間可減少多達 20％ 的峰值電力需求，這意味著(zhù)它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室，且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達 25％，這也有助于提高應用循環(huán)頻率。
XDS 干式渦旋泵
在干泵真空領(lǐng)域，XDS 干式渦旋泵已成為行業(yè)標準，在廣泛的應用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真空泵解決方
XDS10/XDS5愛(ài)德華渦旋泵密封包詳細介紹
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